某半導(dǎo)體制造基地2600平方米生產(chǎn)車間內(nèi),精密儀器持續(xù)運轉(zhuǎn)產(chǎn)生的熱量與人員作業(yè)產(chǎn)生的濕熱負荷疊加,夏季室內(nèi)溫度常突破35 ℃ 。這種高溫環(huán)境直接影響光刻、蝕刻等核心工藝的穩(wěn)定性,傳統(tǒng)中央空調(diào)系統(tǒng)因控溫精度不足、能耗偏高,始終無法滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)車間±1℃的溫控要求。
半導(dǎo)體生產(chǎn)車間整體控溫降溫,應(yīng)用工業(yè)蒸發(fā)冷省電空調(diào)臥式射流機
項目工程經(jīng)理通過實地勘測與熱負荷計算,為該車間量身定制分布式溫控解決方案。19臺蒸發(fā)冷省電空調(diào) -臥式射流機被科學(xué)分布于車間四周墻壁上 ,設(shè)備選用低風(fēng)阻射流送風(fēng)結(jié)構(gòu)機型,通過6 米/秒的平拋氣流實現(xiàn)遠距離溫度覆蓋,避免冷風(fēng)直吹操作崗位造成不適。機組搭載的智能控制系統(tǒng)可根據(jù)實時溫度自動調(diào)節(jié) 30%-100% 輸出功率。
設(shè)備運行測試階段,專利蒸發(fā)冷凝技術(shù)展現(xiàn)顯著優(yōu)勢。循環(huán)水在多層波紋濕簾表面形成均勻水膜,空氣穿過時發(fā)生等焓加濕降溫,此過程可降低進風(fēng)溫度5-8℃。預(yù)冷后的空氣進入全封閉渦旋壓縮系統(tǒng),通過電子膨脹閥實現(xiàn) 0.1℃精度調(diào)節(jié),最終經(jīng)特殊設(shè)計的導(dǎo)流風(fēng)口以層流形式均勻覆蓋生產(chǎn)區(qū)域。十分鐘后,分布車間各處的溫濕度傳感器顯示,整體溫度從 35℃ 平穩(wěn)降至 24.4℃。
蒸發(fā)冷省電空調(diào)-臥式射流機 設(shè)備
實際運行數(shù)據(jù)顯示,該系統(tǒng)綜合能效比達到4.2。設(shè)備群組通過變頻技術(shù)實現(xiàn)智能聯(lián)動,根據(jù)生產(chǎn)節(jié)奏動態(tài)調(diào)整制冷量輸出,單日峰值用電量較改造前下降37% 。全封閉式機組具備IP54 防護等級,有效阻隔粉塵侵入,其搭載的降噪組件使運行噪聲實測值保持在65分貝以下。
半導(dǎo)體生產(chǎn)車間整體控溫降溫,應(yīng)用工業(yè)蒸發(fā)冷省電空調(diào)臥式射流機
客戶非常滿意驗收結(jié)果,特別指出蒸發(fā)冷省電空調(diào)-臥式射流機
設(shè)備
在潔凈室環(huán)境中表現(xiàn)出色 ,溫濕度控制精度完全滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求。后期追蹤表明,持續(xù)運行期間設(shè)備維護成本降低40% 。這項解決方案不僅解決了高精度制造環(huán)境控制難題,更通過能源效率提升為企業(yè)創(chuàng)造可觀經(jīng)濟效益,為工業(yè)制冷領(lǐng)域提供可借鑒的綠色轉(zhuǎn)型范例。